Service description

Süsteem on võimeline sadestama kõrgkvaliteetseid ühtlaseid kilekihte. Varustusse kuulub substraadi pöörlemisseade ja substraadi kuumutusseade. Substraadi maksimaalsed mõõtmed: kolm 7×9 cm või mitu väiksemat substraati. Substraadi maksimaalne temperatuur: 500 °C. Käitamisrõhu: 1•10-6 mBar. 4 aurustusallikad: 2 kõrgtemperatuuri “paadid” ja 2 tiiglid (kuni 500 °C). Kontrollitav kihi paksus (2 QCM andurid).