Tallinna Tehnikaülikool

Materjali- ja keskkonnatehnoloogia instituudi doktorant Abayomi Titilope Oluwabi kaitseb 19. augustil 2020 algusega kell 13:00 oma doktoritööd "High-κ Metal Oxide Thin Film by Chemical Spray Pyrolysis: From Optimization of Material Properties to Application in Thin Film Transistor" ("Metallioksiidi õhukesed kiled keemilise pihustuspürolüüsi meetodil: materjali omaduste optimeerimine ja rakendamine õhukesekilelistes transistorides"). Kaitsmine toimub tehnikaülikooli peamaja VI õppehoone ruumis U06A-229 (Ehitajate tee 5).

Tänapäeva elektroonikaturul kasvab nõudlus vastupidava, painduva ja töökindla elektroonika järele − elektroonikaseadiste mõõdud kahanevad, kuid jõudlus kasvab varasemaga võrreldes. Transistori kui elektroonikakomponendi leiutamine on olnud elektroonilise aparatuuri kiire arengu peamiseks liikumapanevaks jõuks. Praegu rakendatakse õhukesekileliste transistoride (TFT) valmistamisel järjestiksadestamise skeemi ja keerulisi vaakum- või litograafiaprotsesse soovitud konfiguratsiooni saavutamiseks, mis teeb TFT-de valmistamise kulukas. TFT-de valmistamine keemiliste vedeliksadestusmeetoditega on alternatiiv senistele tavapärastele valmistamismeetoditele. Keemiliste vedeliksadestusmeetodite peamisteks eelisteks on kulutõhusus, lihtsus ja valmistatava kihi ühtlus, mis loob eelduse nende meetodite kasutamiseks tööstuses.
Käesoleva doktoritöö eesmärk on välja töötada strateegia amorfse metalloksiidi dielektriku kihi sadestamiseks keemilise pihustuspürolüüsi meetodil TFT jaoks, mis sobiks
rakendamiseks energiatõhusas ja painduvas elektroonikaseadises. Doktoritöö keskendub metallioksiidide valmistamise protsessi optimeerimisele, materjalide omaduste uurimisele ja antud materjalidest TFT -de koostamisele ja karakteriseerimisele.

Juhendajad vanemteadur Ilona Oja Acik, professor Malle Krunks ja dotsent Arvo Mere (Tallinna Tehnikaülikool)

Oponendid:

  • PD Dipl. Phys. Dr. Habil. Thomas Dittrich (Helmholtz-Zentrum Berlin, Saksamaa)
  • juhtivteadur Kaupo Kukli (Tartu Ülikool, Eesti)

Doktoritöö on avaldatud tehnikaülikooli raamatukogu digikogus.